品牌：MYCRO
型号：WS-1000
WS-1000湿法设备
 全白色聚丙烯构造
可内置任何Laurell公司的旋涂机
排放简便的入氮口和DI喷头
如果需要更小尺寸有微型的供选择
一般信息
Laurell公司的WS-1000系列旋转处理湿法设备可以被配置成测试模块构造，安装简便，易于拆卸，更便于操作者控制。典型的WS-1000处理过程包括（但不限于）：
 涂敷
蚀刻
开发-水/溶剂
清洗-水/溶剂
确认，硫酸/双氧水（原样混合）
确认，HBr
温控开发
冲洗/烘干
特点：
全聚丙烯构造（见下文的自灭火功能）
可兼容安装任何Laurell 旋涂机
有排孔的湿隔层（易于拆除）
潮湿的空间
标准规格的排气空间
被热水器，水泵，容器等隔离的组件/容器
选项：
 排气联锁控制处理器（一些型号是标准的）
加热和原材料搅拌
抵抗力冲洗
排水转向装置
真空负荷棒
晶片盒座
检漏
轻塔
可以根据要求采用更高级的材料
更好的
WS-1000-CP5 符合SEMI S93标准应用在消防安全和洁净空间等领域。CP5符合UL94 V-O 火灾分类标准。它具有优良的平衡的物理性能，耐化学药品性和耐火性。
最佳的
WS-1000-CP7-D的材料阻燃特性符合最严格的FMRC 4910测试标准，满足多方面条件下的难燃性，自熄特点和彻底燃烧。这种先进的材料也达到或超过产生低烟和最小毒副产品的检测标准。

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